王艳

王艳 / 副研究员


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2009年4月毕业于上海交通大学微纳米科学技术研究院,获微电子学与固体电子学博士学位,毕业后留校工作。主要从事微加工工艺和MEMS器件方面的研究工作。作为主要研究人员,先后参加了国家863计划课题“非硅表面微加工及柔性衬底技术”、国家自然科学基金“基于碳纳米管植布工艺的场发射阴极制备技术研究”、上海市科委“基于电化学微加工CNT场发射阴极制备及其示范应用”等项目的研究工作。并参与了国家自然科学基金“肾小球滤过膜人工模拟的初步探索”的金属医用微结构支架外协加工工作。主要涉及的研究内容包括MEMS器件的仿真设计和微加工工艺探索,共在国内外核心期刊上发表文章13篇,其中第一作者英文文章4篇,SCI收录3篇。

 

研究方向:

  1. 微加工技术 
  2. 微通道散热器 
  3. 碳纳米管修饰电极

 

主要论文:

  1. WangYan, Guifu Ding, Shi Fu, “Highly efficient manifold microchannel heatsink”, Electronics Letters, v 43, n 18, 2007, p 978-980
  2. WangYan, Guifu Ding, “A microchannel heat sink with unitary circular flow and short distance heat transfer mode: Design and analysis” Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007, v A, Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007, 2007, p 747-750
  3. WangYan, Guifu Ding, “Numerical analysis of heat transfer in a manifold microchannel heat sink with high efficient copper heat spreader”, Microsystem Technologies, 14(2008),389-395
  4.  WangYan, Guifu Ding, “Experimental investigation of heat transfer performance for a novel microchannel heat sink”, Journal of Micromechanics and Microengineering, 18 (2008) 035021 (8pp)
  5. Min Deng, Guifu Ding , WangYan, Huiqing Wu, Yuanjin Yao, Lida Zhu. Fabrication of Ni-matrix carbon nanotube field emitters using composite electroplating and micromachining. C A R B ON 4 7 ( 2 0 0 9 ) 3 4 6 6 –3 4 7 1 (IF 4.373)
  6. Min Deng, Guifu Ding, WangYan, Hong Wang, Shi Fu. MEMS-based carbon nanotube and carbon nanofiber Cu micro special electric contact .J. Micromech. Microeng. 19 (2009) 065001 (8pp) (IF2.233)
  7. Min Deng, Guifu Ding, WangYan, Hong Wang. Mass production of triode-type carbon nanotube field emission micro-cathode arrays using composite electroplating and micromachining at room temperature. C A R B ON ( Revised)

 

科研项目:

目前主持承担的课题

  1. 重点实验室基金:永磁材料微结构图形化集成制造技术
  2. 长虹集团合作项目:新型铝电极及氧化铝介质薄膜技术及材料研究
  3. GRT合作项目:微型标识加工

微纳电子学系