步扬-兼职博导

        步扬，男，博士，研究员。1995年获华中科技大学（时为华中理工大学）工学学士学位，1999年与2004年在中国科学院上海光学精密机械研究所，分别获得理学硕士和工学博士学位。1999年7月至2022年3月在中国科学院上海光学精密机械研究所工作，2022年4月加入张江实验室工作，任研究员、博士生导师。
        主要开展高端光刻机技术、光学精密检测技术、光谱技术、偏振技术等领域研究工作。作为项目（课题）负责人先后承担国家科技重大专项、上海市科技专项、上海市启明星计划等多项国家、中科院、上海市科研任务。在国内外物理、光学、光谱学领域SCI/EI期刊发表论文80余篇，申请国家发明专利42项，其中授权专利27项。获得中国电子学会科学技术奖、江苏省科技进步奖等多个奖项。
 
        招生方向：光学精密检测技术，高端光刻机技术
        招收具有物理、光学工程、光信息科学与技术、精密机械、测控技术与仪器、电子科学与技术等相关专业背景的研究生与博士后。
        邮箱：buyang@zjlab.ac.cn