戴旭涵

戴旭涵 / 副教授


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1990.9 1994.7 燕山大学机械工程系流体传动及控制专业 本科 
1994.9
1997.2 浙江大学机械工程系流体传动及控制专业 工学硕士 
1997.2
2000.6 浙江大学光电工程系测试计量技术及仪器专业 工学博士 
2000.9
2002.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院 博士后 
2002.9
至今 上海交通大学微纳科学技术研究院 副教授

在研项目

  • 国家自然科学基金 新型集成双稳态 MEMS 微电磁驱动器的理论与实验研究 2005.1 ~ 2007.12 负责人

基于 MEMS 技术的光开关、微继电器和射频开关等器件分别是应用于未来全光通信网、先进仪器仪表和控制系统、雷达与移动通信等领域的基础性关键器件。这类器件通常工作在开、关状态,驱动行程在 10 微米至 100 微米,驱动力为毫牛顿量级、响应时间在毫秒至微秒量级,要求低功耗。静电驱动由于工作电压高、驱动力和输出行程较小,难以满足上述要求。微电磁驱动有望从根本上克服上述缺点,但需解决功耗和集成制造问题,以及如何进一步优化器件动态响应时间等性能指标。在大量前期研究基础上,本项目提出一种蕴含磁双稳机制,易于集成化和模块化的新器件结构方案,试图从根本上解决光开关等器件中微电磁驱动的功耗和集成制造问题,并通过上述器件的建模分析和结构优化探寻缩短动态响应时间的有效途径。同时研究原型器件的集成制造方法、测试并优化器件性能指标,以验证所提出方案的有效性和先进性,为高性能 MEMS 光开关等器件的优化设计和集成制造奠定基础。

 

  • 上海市西部合作计划 集成光电子领域先进散热器关键技术的研究 2004.10 ~ 2005.9 负责人

散热问题将成为未来 5~10 年后高性能集成电路芯片及大功率半导体激光器设计和制造中一个根本性的问题。微通道内流动换热是当前传热界研究的一个重要课题,具有微米级大小的沟槽或管道结构的微通道散热器具有极强的冷却能力。本项目的研究内容有望为工业规模生产高性能微通道散热器提供一种实用的先进高技术工艺,从而为解决集成光电子领域的散热问题提供切实可行的关键技术。


研究成果

  • 上海博士后基金 可实现阵列拼接的微电磁驱动可变光衰减器的研究,2002完成
  • 上海市光计划 应用于动态功率均衡的可变光衰减器阵列,2004完成

经过上述两个项目的研究,新型可变光衰减器从原型概念变为工程样机,并获得发明专利授权,目前正在国家自然科学基金等项目的资助下进一步研究实用化所涉及的电磁驱动、控制等关键技术。


发明专利

电磁驱动位错型可变光衰减器,第一发明人,授权公告号:CN1186670C,授权公告日:2005.1.26。

 

研究方向:

  1. 电磁驱动 MEMS 器件
  2. 光学 MEMS 器件及其微细加工方法

微纳电子学系