崔峰

崔峰 / 副研究员


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办公地点:综合实验楼2-302

 

1995.9-1999.7  长春理工大学 机械设计专业 大学本科/学士
1999.9-2002.3  长春理工大学 机械制造及其自动化专业 研究生/硕士
2002.3-2007.4  上海交通大学 微电子学与固体电子学专业研究生/博士
2007.4-2011.12 上海交通大学 微纳科学技术研究院 助理研究员
2012.1至今      上海交通大学 微纳科学技术研究院 副研究员

 

研究方向包括微机电系统(MEMS)的设计、微制造及集成,目前主要从事悬浮式微陀螺/加速度计、固体振子微陀螺、高G微加速度计、高速飞行体速度传感器、PCR芯片等MEMS器件的研究。在国内外学术刊物上发表论文四十余篇;授权发明专利20余项。

 

作为主要研究成员已参与“十一五”预研项目“微机械悬浮转子陀螺技术”、国家863计划“基于MEMS强链的硬盘物理认证和物理加密技术”、国家973子课题“肝癌血清学早期筛查的纳米传感微纳器件研究”、教育部支撑项目“压电式微固体模态陀螺”,上海市科委等多项课题的研究。

 

主持的科研项目:国家级重点实验室基金项目“高过载加速度计设计与制造关键技术研究(2008.3-2010.2)、教育部博士点基金新教师项目“静电悬浮扁平转子微陀螺系统的建模仿真(2009.12011.12)和国家及上海市自然科学基金项目“基于超磁致伸缩材料的新型固态微陀螺”(2010-2013)。

 

招收具有机械、精密仪器、导航控制、电子科学与技术、功能材料等相关专业背景的研究生。

 

研究方向:

  1. 微机电系统(MEMS)的设计
  2. 微制造及集成

 

主要论文:

  1. Cui F, Chen WY, Zhao XL, et al. Metal foundation construction to consolidate electroplated structures for successful removal of SU-8 mould. Electronics Letters, 2006, Vol.42,pp690-691.
  2. Feng Cui, Wenyuan Chen, Weiping Zhang, et al. Design and Fabrication of an Electrostatically Suspended Microgyroscope using UV-LIGA Technology. Microsystem Technologies, 2009, Vol. 15(12), pp1885–1896.
  3. F. Cui, W. Liu, W.-Y. Chen, W.-P. Zhang and X.-S. Wu. Hybrid microfabrication and 5-DOF levitation of micromachined electrostatically suspended gyroscope. Electronics Letters, 2011,Vol.47( 17), pp.976-978
  4. Feng Cui, Wu Liu, Wenyuan Chen, Weiping Zhang and Xiaosheng Wu. Design, Fabrication and Levitation Experiment of a Micromachined Electrostatically Suspended Six-axis Accelerometer. Sensors, 2011, Vol.11, no12, pp 11206-11234.
  5. D D Shao, F Cui*, W Y Chen, and W P Zhang. Investigation on removal of SU-8 electroplating mould using fuming sulphuric acid. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C: Journal of Mechanical Engineering Science, 2011,vol. 225 no. 9, pp 2277-2282.
  6. Feng Cui, Wenyuan Chen, Weiping Zhang, Zhenni Qin, Gaoyin Ma, Qijun Xiao, Xiaosheng Wu, and Wu Liu. Optimization Design of an Electrostatically Suspended Microgyroscope. 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Xiamen, China, Jan. 20-23, 2010.
  7. Z. Wan, F. Cui*, Y.K. Zhang, W. Liu, W.Y. Chen and W.P. Zhang. Design of Proof Mass and System-level Simulation of a Micromachined Electrostatically Suspended Accelerometer. Advanced Materials Research, 2011,Vols. 317-319, pp 1631-1634.
  8. Yunkui Zhang, Feng Cui*, Zhen Wan, Kai Li, Wu Liu, Weiping Zhang. A High–G Metal Capacitive Microaccelerometer with Round Proof Mass Supported by Multi-Beam. Advanced Materials Research, 2011,Vols. 317-319, pp 1843-1846
  9. Lei Yang, Feng Cui*, Wu Liu, Xiaosheng Wu, Weiping Zhang, Wenyuan Chen. Modal FEM analysis using weak form equations for a microgyroscope with bulk giant magnetostrictive material (GMM) resonator. Advanced Materials Research, v 650, p 513-517, 2013.

微纳电子学系