林祖德 | 深低温环境感知技术探索者

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博士 助理研究员

地址:综合实验楼2-309

电话:021-34206683

邮箱:linzude@sjtu.edu.cn

实验室名称:智能感知与生物医学微系统

本科和硕士阶段就读于西安交通大学电子科学与技术系。硕士毕业后就职于中国电科第55研究所,从事三五族化合物半导体薄膜的生长工艺及应用研究。

2015年进入上海交通大学微纳电子系攻读电子科学与技术专业博士学位,2020年博士毕业后留校工作。主要从事MEMS深低温温度传感器的制备工艺及测试方法研究,以核心成员身份参与两项国家重大科技专项项目,研制的深低温温度传感器在实际中得到良好应用,获相关部门认可。目前已经发表SCI论文11篇,其中第一作者论文4篇,已获授权发明专利一项。

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研究方向:

1. MEMS低温温度传感器;

2. 过渡金属氮氧化物薄膜生长及应用;

3. 微纳加工工艺。

重要科研/论文:

1. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Appl. Phys. Lett. 113, 133504(1-5), (2018).

2. Z. D. Lin, X. Y. Li, et al. J. Mater. Sci. 55, 7(2881-2890), (2019).

3. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Semicond. Sci. Technol. 33, 115002(1-6), (2018).

4. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Semicond. Sci. Technol. 34, 085008(1-9), (2019).

兴趣爱好:羽毛球、骑行。

科研风格:务真求实,以解决实际问题为基本出发点。