曾志男/兼职博导

曾志男/ 研究员

曾志男

        曾志男,光学博士,博士生导师,1998年中国科学技术大学物理系获学士学位,2003年中科院上海光机所获博士学位,2008年被聘任为研究员,2009年被聘任为博士生导师,2022年加入张江实验室。2010年入选上海市“启明星”人才计划的支持。2012年入选“优秀青年基金”的资助。

        近年主要从事极紫外(EUV)光源的产生和应用研究,承担两项国家重大科研仪器设备研制专项中的课题研究,以及上海超强超短激光实验装置(SULF)中的平台研制,发表包括PRL,APL,OL,Optica等国际重要学术期刊多篇。目前主要开展极紫外(EUV)光源在半导体器件上的微纳结构成像检测应用研究。
 
        招生:招收对光学技术、微纳技术有强烈兴趣和相关专业基础的研究生。

        邮箱:zhinan_zeng@mail.siom.ac.cn;zengzn@zjlab.ac.cn

 


微纳电子学系