微纳电子学系具有优厚的办学硬件资源,2007年正式入驻“微电子大楼”、“综合实验楼”,合计使用面积9170平方米(微电子楼3755平米,综合实验楼5415平方米),可支持开展教学科研、学生实践等各项活动。
现有基础教学实验室2个(EDA实验室、系统实验室),校企集成电路测试联合实验室1个,大学生科技创新实验室1个。基础教学实验室拥有Cadence/Synopsys/ARM 主流的集成电路设计仿真工具、Xilinx 主流FPGA开发板、ADI/TI DSP开发板等面向集成电路设计、验证和系统设计的专业工具;校企集成电路测试联合实验室拥有德州仪器捐赠使用的泰瑞达ETS-88测试机台,支持学院的《集成电路测试》课程实践活动。大学生科技创新实验室与Xilinx、TI、Cadence、Synopsys等公司联合建设,具备系统化的实验环境,支持各类大学生科技创新、竞赛项目。
基础教学实验室服务课程:
>>集成电路设计类:数字集成电路设计及课程设计、模拟集成电路设计及课程设计、SoC设计方法学等
>>集成电路系统设计类:计算机组成、数字信号处理系统设计、嵌入式系统设计、多媒体处理设计等
>>半导体工艺类:半导体物理与器件物理、集成电路制造与工艺等
>>专题实践类:微电子科技创新、微电子生产实习等
依托先进电子材料与器件平台(AEMD),开展教学及科研工作。AEMD于2012年起由学校投资6000万元建设,2014年10月正式对外开放。平台建有近1510平米的100级、1000级净化室,其中100级210平米,1000级约1300平米。除此之外,平台还拥有近250平米非净化测试加工区。平台建设有一条能对半导体和有机材料进行微纳米加工的3~6英寸半导体实验线(位于微电子大楼)以及一条3~4英寸微纳加工实验线(位于微纳综合实验楼),部分设备可实现8英寸基片加工。